采用適當的金屬有機化合物溶液水解的方法，也可獲得所需的氧化物薄膜。這種濟液水解鍍膜方法的實質是將某些III、IV、V族元素合成烴氧級化合物，以及利用一些無機類如氧化物、硝酸鹽、乙酸鹽等作為鍍膜物質，將這些成膜物質溶于某些有機溶劑，如乙酸丙酮或其他的有機溶劑中成為溶膠，采用浸漬和離心甩膠等方法將溶液涂覆于基體表面，因發生水解作用而形成膠體膜，然后進行脫水而凝結為固體薄膜。膜厚取決于溶液中金屬有機化合物的濃度、溶膠液的溫度和黏度、基片的旋轉速度、角度以及環境溫度等。
   溶膠一凝膠工藝的主要步驟為:先將金屬醇鹽溶于有機溶劑中，然后進行脫水而加入其他組分(可為無機鹽形式，只要加入后能互相混溶即可，制成均質溶液，在一定溫度下發生水解聚合反應，形成凝膠。其主要過程包括以下的水解聚合反應:

   采用溶膠一凝膠法制備薄膜具有多組分均勻很合、成分易控制、成膜均勻、能在較大面積上制備較薄的薄膜、成本低、周期短、易于工業生產等優點。目前已用于制備TiO2、Al2O3、SiO3、BaTiO3、PbTiO3、PZT、PLZT等薄膜。