在溝渠和孔洞消除之后，再入射到基片表面上的氣相原子便直接吸附在薄膜上、通過合并作用而形成不同結構的薄膜。有些薄膜在島的合并階段，小島的取向就發(fā)生顯著變化。對于外延薄膜的形成，其小島的取向相當重要。在形成多晶薄膜時，除了在外延膜中小島合并時必須有相互一定的取向之外，在合并時還出現(xiàn)一些再結晶現(xiàn)象。以致薄膜中的晶粒大于初始核之間的距離。即使基片處在室溫條件下，也有相當數(shù)量的再結晶發(fā)生。每個晶粒大約包含100個或更多的初始核區(qū)域。由此可以看出，薄膜中晶粒尺寸的大小取決于核或島合并時的再結晶過程，而不取決于初始核的密度。